Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống / Nguyễn Nam Trung - Nguyễn, Nam Trung
Lịch sử phát triển công nghệ vi điện tử. Giới thiệu: vi điện tử, vi cơ silic, vi cảm biến silic trực tiếp, vi cảm biến gián tiếp và vi động